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规格：
● 制造方法：CZ法
● 平面方位：100
● OF位置：110
● 电阻值：0.1～100Ω?cm ※低电阻：≦0.02Ω?cm、高电阻：≧500Ω?cm
● 粒子：2-960-01～08／不论粒子、 2-960-51～62／≧0.3um、10个以下
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